ALD成膜装置とALE装置を販売アルバックが英社と販売代理店契約

摘要

アルバックは、英オックスフォード社(オックスフォードシャー州)のインスツルメントプラズマテクノロジー部門と、日本における販売代理店契約を締結した。オックスフォード社は、英オックスフォード大学からのスピンアウト企業として1959年に創業した。