基板端面の除塵が可能にレヨーン工業基板端面クリーンローラーで展開

摘要

クリーンローラー、光学機器で市場展開する、レヨーン工業（茨城県 つくば巿御幸が丘8-2)の基板端面クリーン口ーラーREーシリーズ〔写 真〕は、従来不可能だった基板端面の除塵を可能にした画期的な装置で、クリーン口ーラーと併用すること で基板全面のクリーニングが可能である。