大型化する基板などに対応オーク製作所コンタク卜式自動露光装置

摘要

オーク製作所（東京都町田巿小山が丘3-9-6)は、大型化する基板サイズへの対応や選択可能な光源など、さらに幅広いアプリケーションに対応したコンタクト式自動露光装置EXP Seriesで市場展開している。