多様な化合物ウェハーに対応SCREENセミコンダクタースピンプロセッサで市場展開

摘要

SCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、200mmまでのウエハーに対応する、コストパフォーマンスに優れたスピンプロセッサ(枚葉式洗浄装置)「SP-2100」〔写真〕を開発。