精密機械の開発における「精度」の役軌こついて: 高精度位置決め機構の開発に見る温故知新

摘要

「フェローから次世代へのメッセージ」特集では，精密工学を牽引してきた先輩方からの言葉が多くの「温故知新」掘り起こしにつながると思われる．そこで，筆者が携わった半導体露光システムのための位置決め機構の開発における「精度」の役割を論じてみたい．