白色干渉計測法の原理と応用

摘要

本稿は，白色干渉計測法の測定原理とその応用例について解説した.白色干渉計測法は，その最大の特徴である低コヒ一レンス性をセンサプローブとして利用し，生体計測などへ広く応用されている.さらに，低コヒーレンス光を単一モードレーザ光の集合体として捉え，グレーティングにより周波数空間に分離することにより，空間軸上に構成された周波数走査レーザを利用したスペクトル領域OCT や波長分散された光の位相を操作し再合成することにより，群遅延を発生させ光ディレイラインを構成できる RSODについて報告した.このほかに，低コヒーレンス光のコヒーレンス関数の合成を用いた干渉計測法,球面鏡を巧みに利用した低コヒ一レンスへテロダイン干渉計,干渉信号の複素コヒーレンス度の絶対値を算出し，表面形状を計測する低コヒーレンス干渉法などが報告されている.