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机译:衬底偏置对磁性中性环放电等离子体中蚀刻剂离子产生和运输的影响
Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University, Sapporo, Japan;
Discharges (electric); Ions; Magnetic separation; Plasmas; Production; Radio frequency; Substrates; Bias; Monte Carlo method; NLD plasma; etchant; quadrupole magnetic field; separatrix;
机译:中性回路放电等离子体中用于维持离子产生和均匀离子通量到基板的磁场控制
机译:控制中性回路放电等离子体中的磁场,以实现基板上离子通量的均匀分布
机译:四极磁场中的电子分布,以驱动磁中性环放电等离子体
机译:带有磁性中性环放电(NLD)等离子体的离子注入机用于表面改性的离子源
机译:亚亚尺度规模的电磁湍流在等离子体中的传输性质和辐射产生。
机译:钠耦合的中性氨基酸转运蛋白SNAT2介导阴离子泄漏电导该电导被底物差异抑制。
机译:磁性中性回路放电等离子体中衬底偏向对蚀刻剂离子产生和运输的影响
机译:有源中性Li梁在磁约束等离子体中的杂质输运研究及相关截面测量中的应用。磁聚变等离子体诊断原子碰撞数据协调程序