Interface Effects Study in Hard–Soft Carbon Multilayered Films by AES Depth Profiling

著录项

• 来源
  《Plasma processes and polymers》 |2007年第1期|259-264|共6页
• 作者

  Victor Micheli; Nadhira Laidani; Ruben Bartali; Gloria Gottardi; Mariano Anderle;

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• 作者单位

  ITC-IRST Divisione Fisica Chimica delle Superfici e Interfacce via Sommarive 18 38050 Povo Trento Italy;

  ITC-IRST Divisione Fisica Chimica delle Superfici e Interfacce via Sommarive 18 38050 Povo Trento Italy;

  ITC-IRST Divisione Fisica Chimica delle Superfici e Interfacce via Sommarive 18 38050 Povo Trento Italy;

  ITC-IRST Divisione Fisica Chimica delle Superfici e Interfacce via Sommarive 18 38050 Povo Trento Italy;

  ITC-IRST Divisione Fisica Chimica delle Superfici e Interfacce via Sommarive 18 38050 Povo Trento Italy;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Auger-electron spectroscopy (AES); depth profiling; films; interfaces; multilayers;

  机译：俄歇电子能谱（AES）;深度分析;薄膜;界面;多层;