机译:多晶化合物半导体中掺杂物的局部重分布和退火引起的缺陷
CEA, LETI, MINATEC, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France Paul-Drude-Institut fuer Festkoerperelektronik, Hausvogteiplatz 5-7, D-10117 Berlin, Germany;
CEA, LETI, MINATEC, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France;
CEA, LETI, MINATEC, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, France;
CEA-CNRS-UJF Nanophysics and Semiconductor Group, Institut Louis Neel, 25 rue des Martyrs, 38042 Grenoble Cedex 9, France;
cathodoluminescence, ionoluminescence; kinetics of defect formation and annealing; grain and twin boundaries;
机译:在掺杂物和辐射缺陷退火过程中,多层结构中注入和注入的掺杂物的校正再分布,用于生产p-n结系统(第23卷的撤消,第095005号艺术品,2008年)
机译:在掺杂物和辐射缺陷退火过程中,注入和注入的掺杂物在多层结构中的重新分布,以产生p-n结系统
机译:退火多晶CdTe中的相关结构重排和掺杂物重新分布
机译:使用OBIRCH(光束感应电阻率变化)在功率半导体上进行缺陷和结构弱化定位
机译:电场对磷化铟半导体结中稳定的辐射诱导缺陷的形成和退火的影响。
机译:通过水下激光退火结晶成多晶硅薄膜并同时灭活电缺陷
机译:多晶铋中辐射致缺陷的退火
机译:III-V族化合物半导体深层缺陷和输运特性与生长参数和退火条件的研究。