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机译:纳米晶金刚石基光子结构制备平面化工艺的发展
Univ Kassel Ctr Interdisciplinary Nanostruct Sci & Technol CI Inst Nanostruct Technol & Analyt INA Heinrich Plett Str 40 D-34132 Kassel Germany;
Univ Kaiserslautern Inst Oberflachen & Schichtanalyt Trippstadter Str 120 D-67663 Kaiserslautern Germany;
diamond nanopillars; diamond photonic crystal slabs; nanocrystalline diamond; surface planarization;
机译:纳米晶金刚石中二维光子晶体微腔的制备与表征
机译:宽带隙纳米晶金刚石膜中短波长光子晶体的制备
机译:基于带腔金刚石结构的点缺陷光子晶体的制备及其微波性能
机译:基于钻石的量子信息处理应用的Si3N4光子晶体纳米覆的设计,制造和表征
机译:硅和氮化镓光子晶体结构制造工艺的发展。
机译:用于光子晶体的纳米流体结构的CMOS兼容制造
机译:开发纳米晶金刚石基光子结构制造的平坦化过程
机译:单自对准刻蚀工艺制备三维硅基光子晶体结构。