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Focal spot optimization through scattering media in multiphoton lithography

机译:通过多光子光刻散射媒体的焦点现货优化

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摘要

Shaping the optical wavefront utilizing spatial light modulators (SLMs) is a valuable methodology for modification of a focal spot. It has numerous applications in microscopy, particularly in scattering media. Optical lithography techniques, i.e. multiphoton lithography, can also benefit from wavefront shaping. In this contribution, we present focus optimization in multiphoton lithography through a scattering medium. Beam shaping of a femtosecondpulsed laser pulse was achieved using a liquid-crystal SLM. For the feedback system a low-cost approach, using a Raspberry Pi-camera in Bayer-mode was applied. Images of the focal spot were used as input for an evolutionary algorithm to improve focus quality.
机译:利用空间光调制器(SLM)来形成光学波线是一种有价值的方法,用于修改焦点。 它在显微镜中具有许多应用,特别是在散射介质中。 光学光刻技术,即多光子光刻,也可以从波前塑造中受益。 在这一贡献中,我们通过散射介质提出了多光子光刻中的重点优化。 使用液晶SLM实现了飞秒激光脉冲的光束成形。 对于在拜耳模式下使用覆盆子PI相机的反馈系统采用了低成本方法。 焦点的图像被用作进化算法的输入,以提高焦点质量。

著录项

  • 来源
    《Optics and Lasers in Engineering》 |2021年第7期|106607.1-106607.7|共7页
  • 作者单位

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Med Engn & Appl Social Sci Garnisonstr 21 A-4020 Linz Austria|Johannes Kepler Univ Linz Inst Appl Phys Altenberger Str 69 A-4040 Linz Austria;

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Informat Commun & Media Softwarepk 11 A-4232 Hagenberg Austria|Johannes Kepler Univ Linz Comp Sci Altenberger Str 69 A-4040 Linz Austria;

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Med Engn & Appl Social Sci Garnisonstr 21 A-4020 Linz Austria;

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Med Engn & Appl Social Sci Garnisonstr 21 A-4020 Linz Austria;

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Informat Commun & Media Softwarepk 11 A-4232 Hagenberg Austria|Johannes Kepler Univ Linz Comp Sci Altenberger Str 69 A-4040 Linz Austria;

    Univ Appl Sci Upper Austria Sch Med Engn & Appl Social Sci Garnisonstr 21 A-4020 Linz Austria;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    Beam shaping; Machine learning; Bayer-mode; Spatial light modulator; Femtosecond laser;

    机译:梁塑造;机器学习;拜耳模式;空间光调制器;飞秒激光;

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