プラズモニックセンサのための金属ナノドットアレイの効率的製作法

摘要

機械的加工法は自動車や航空機•家電などさまざまなェ 業製品の生産技術として広く利用されており、高精度で高 生産性を実現し、さらにエネ、ルギー効率が高い、環境負荷 が小さいなど優れた特性を有している。本稿では、このよ うな機械加工を利用した金属ナノドットアレイを製造する 方法について紹介する。