歩留まり向上に威力を発揮する統合解析ツール膨大なデータを徹底活用，問題を迅速に“見える化”: データ解析からレポート作成まで豊富な支援機能を実現

摘要

半導体およびフラットパネル・ディスプレイ（FPD）の製造現場に向けてワイ・ディ・シーが展開している統合解析ツール「YDC SONAR™」に対する業界の関心が高まっている。ウエーハの大口径化やガラス基板の大型化にともなって一段と難しくなる歩留まり管理を強力に支援する機能を豊富に備えているからだ。製造ラインで起きる様々な現象を分かりやすいかたちで“見える化”することで，ライン管理者からプロセス・エンジニアまで一体となって支える効率的な歩留まり管理体制を実現する。