製造装置から周辺機器まで幅広く展示独創的技術で生産効率と環境対応を両立: MEMSおよび太陽電池関連装置の最新鋭機も展示

摘要

得意の真空技術を駆使した半導体およびフラットパネル・ディスプレイ（FPD）向け各種製造装置およびその周辺機器を手掛けるアルバックは，セミコン・ジャパン2006に同社の最新鋭機を数多く出展し，同社の幅広い製品ラインナップを紹介する。一部のプロセス・モジュール，コンポーネント搬送機などは実機を展示する予定だ。主催者が用意した特設パビリオンでは，MEMS関連装置および太陽電池関連装置をそれぞれ展示する。