装置間連携を強みに競合引き離す

摘要

米Applied Materials，Inc.（AMAT）が，複数の装置間の連携によってプロセス制御性を高めるAPC（advanced process control）の強化に動き始めた。塗布・現像装置や検査装置の事業に参入し，露光装置や成膜装置と連携させて競合を引き離しにかかる。同社日本法人の代表取締役社長に就任した渡辺徹氏に，その取り組みについて聞いた。