450mm化に向けた課題が明らかに関遙企榠の遙携や議論の重要性が浮上

摘要

半導体業界のキー・プレーヤ3社か，2008年5月に450mmによるパイロット 生産の計画を明らかにして以来，450mmの動向は部材・装置メーカーを中心に 注目の的となっている。 こうした中で，2008年10月14日（火）に東京コンファレンスセンター・品川（東 京都港区）開催された日経マイクロテハイス主催のセミナー「450mmウエー八時 代に備える」では,この3社か登壇し,450mmウエー八の将来性について語った。 さらに，関連する部材や装置のメーカーが450mm化への取り組みについての講 演を行った。