「露光装置だけでは不十分」周辺技術の一体化で22nmを実琭

摘要

露光装置の解決により，22nmの世代 に光リソグラフィを適用するために残さ れた課題は限られている。解像度の増強 とデバイス設計の工夫である。光リソグ ラフィの解像度の向上に有効な露光光の 短波長化，対物レンズの開口数（NA）の 拡大が既に限界に達していることによる。 具体的には，四つの課題によって解 決する。