[LSI]

摘要

次世代の露光技術であるダブル?パターニング用のArF液rn浸露光装置を巡って，オランダASML社とニコンのつばぜりrn合いが激しさを増してきた。最近では，ニコン取締役兼専務rn執行役員精機カンパニープレジデントの牛田一雄氏が11月6rn日の決算発表において，「2009年後半には，（ASMLにとってrn有利となる）ユーロ安の状況でも，コストパフォーマンスでrn競合を圧倒的に上回るダブル?パターニング用のArF液浸露rn光装置を投入する。