日本特殊陶業

摘要

スパークプラグに必要不可欠な絶縁体に用いられるセラミック技術の応用による、ジルコニア管を用いたO_2センサー(残留酸素センサー)の開発から始まった各種センサー類や、セラミック製の加工機用切削刃物など、守備範囲は多岐に拡がっている。なかでも興味深いのがMEMS技術を用いたセンサーだ。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は半導体上に電子回路とマイクロマシン(微小な機械要素)を同時に形成する技術で、同社が近年カを入れている分野。"水素漏れ検知センサ"は現在開発が進められているもので、シリコンMEMS技術の応用例としては最新のひとつだ。