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机译：多传感器检测系统提供速度，准确性

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Transports are driven by balanced linear motors that are close-looped to precision scales in all three axes and require no maintenance. The motors generate no heat and position to a small fraction of a micron, the company says. Other features include porous carbon air bearings for quiet, frictionless motion. The bearings require no lubrication or maintenance and provide repeatability greater than 3 pm.

机译：输送装置由平衡的线性马达驱动，该线性马达在所有三个轴上均以精确的比例闭环，并且无需维护。该公司表示，这些电机不会产生热量，并且不会产生很小的位置误差。其他功能包括多孔碳空气轴承，可实现安静，无摩擦的运动。轴承不需要润滑或维护，并提供大于3 pm的可重复性。

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《Modern Machine Shop》 |2009年第4期|p.140-141|共2页
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