多重光路型レーザ干渉計による高周波数用振動加速度校正装置の開発

摘要

校正周波数5kHz～10kHzに対応した振動加速度計の1次校正を実現するために，2重光路型及び4重光路型レーザ干渉計を設計し，1次校正装置へ導入した。さらに，適用周波数範囲，相互比較による妥当性を確認し，不確かさの見積りを示した。開発した1次校正装置の性能を以下に示す。（1）見かけ上の光路差を2倍または4倍に倍増することによって測定分解能が25nm以下にまで向上し，5kHz～10kHzまで拡張不確かさ3.5％以内で校正可能である。（2）校正対象の振動加速度計の上部端面に特別な光学素子を用いることなく，平らな反射面を用意するだけで校正が可能である。