ボールsawデバイスを用いた匂いセンサの感度向上に関する研究

摘要

匂いセンサは，食品，飲料，化粧品，環境計測等多くの 分野で必要とされている。匂いセンサでは特性の異なる複 数のセンサの応答パターンをパターン認識して，匂いの識 別を行う。匂いセンサのセンサ素子には，水晶振動子ガス センサ，SAW（Surface Acoustic Wave: 弾性表面波）ガスセ ンサ，半導体ガスセンサ等が用いられている。我々は水晶 振動子（QCM）ガスセンサを中心に研究を行ってきたが匂 いセンサで必要になる集積化と高感度化の可能性があるボー ルSAWデバイスに注目することにした。%In this report, we improve a sensitivity of odor sensing system using ball SAW devices. Although, we reported the three-flavor identification using four ball SAW devices with different sensing films, the concentrations of the fruits flavors had to be high in the previous study. Thus several optimizations were performed here. First, we optimized the coating parameters of AC electrospray method. Second, we optimized sensing film thickness. Thirdly, we used Savitzky-Golay filter for smoothing response waveforms. After the improvement, we could detect butanol of 90ppb below human threshold. Finally we found that the response speed of ball SAW devices are superior to that of QCM with comparable sensitivity.