机译:基于BINNET复印机的振荡能量的单结构静电传感器
Новосибирский государственный технический университет Пр. Карла Маркса 20 Новосибирск 630073 Россия;
Новосибирский государственный технический университет Пр. Карла Маркса 20 Новосибирск 630073 Россия;
Новосибирский государственный технический университет Пр. Карла Маркса 20 Новосибирск 630073 Россия;