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机译:鉴定含碳低κ电介质上锰硅酸锰势垒形成的光发射研究
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
School of Physical Sciences, Dublin City University, Glasnevin, Dublin 9, Ireland;
XPS; Low-κ dielectrics; Manganese; Copper diffusion barrier layers; MnSiO_3; Si 2p;
机译:锰硅酸盐阻挡层生长过程中超低κ碳掺杂氧化物表面碳耗尽的光发射研究
机译:SiO_2在阻挡层应用中原位形成硅酸锰的同步辐射研究
机译:用于阻挡层应用的含氧原子改性碳的多孔低κ介电薄膜的原位表面和界面研究
机译:碳含量对低k介电材料上硅酸锰阻挡层形成的影响的光发射研究
机译:稀磁半导体,GA1-X MNXP和未掺杂的间隙研究,具有硬X射线照片和角度分辨的光曝光
机译:与原始值相比碳酸酐酶对当今CO2浓度下硅酸盐风化和碳酸盐形成的影响
机译:利用依赖于偏置的内部光发射确定高k电介质材料的能垒分布
机译:X射线光电子能谱(Xps)研究硅酸盐玻璃中的铀,Ne和钚氧化物