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机译:MEMS谐振器对工艺引起的特征宽度变化具有鲁棒性
California Univ., Santa Barbara, CA, USA;
micromechanical resonators; frequency stability; MEMS resonator; stability analysis; process variation; design method; lateral vibration; frequency sensitivity; fabrication error; proof mass; beam width; single material structure; multilayer structur;
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