机译:表面微机械通道的静摩擦密封
Microchannel; sacrificial etch; sealing; silicon carbide; stiction; surface micromachining;
机译:层状介质流阶梯式密封面开槽槽中一系列参数计算的改进方法
机译:用于MEMS以上CMOS应用的多SiGe表面微加工腔的密封
机译:使用表面微加工修改为高微型化微通道的电渗动微混合器
机译:表面微机械通道的静摩擦驱动密封
机译:开发了一种表面微机械加工的螺旋通道粘性泵。
机译:使用激光烧蚀对可生物降解材料进行微流控通道的直接微加工
机译:通过表面微加工执行的具有集成微流体通道的悬浮栅场效应晶体管,用于液体传感