机译:高纵横比NLD等离子体刻蚀和熔融石英和硼硅玻璃的后处理研究
MicroSystems Laboratory, University of California at Irvine, Irvine, CA, USA;
Microfabrication; fused quartz; fused silica; glass etching; plasma etching; roughness reduction; roughness reduction.;
机译:用于高纵横比蚀刻熔融二氧化硅,硼硅酸盐和铝硅酸盐玻璃基板的高纵横比蚀刻的电感耦合等离子体反应离子蚀刻工艺
机译:使用脱水AZ4330和Cr / Au掩模对硼硅酸盐玻璃和熔融石英进行深湿蚀刻
机译:硼硅酸钠玻璃和硼硅酸钡玻璃的结构方面的比较研究:Al2O3添加的影响
机译:熔融石英和硼硅酸盐玻璃的深NLD等离子蚀刻
机译:使用准分子激光(248 nm)对硼硅酸盐玻璃进行微加工,并通过激光诱导对石英进行背面湿蚀刻。
机译:缺氧模拟钴掺杂硼硅酸盐生物活性玻璃支架具有增强的血管再生和成骨能力可促进骨骼再生。
机译:一种新的硼硅酸盐冠光学光学玻璃氟基等离子体喷射蚀刻的新型交易型号模型