机译:使用MEMS光学斩波器的单晶硅谐振器的时间分辨微拉曼应力谱
Department of Micro Engineering, Kyoto University, Kyoto, Japan;
Time-resolved micro-Raman spectroscopy; dynamic stress; electrostatic actuator; electrostatic actuator.; optical chopper; silicon on glass; silicon resonator;
机译:激光显微拉曼光谱法无损测量单晶硅中加工诱导的非晶层
机译:温湿度对MEMS谐振器中单晶硅微束降解的影响
机译:澄清通过铜填充硅通孔周围硅中的多波长微拉曼光谱法测量的应力场
机译:多晶硅MEMS谐振器中残余应力的显微拉曼光谱分析
机译:硅晶片中的应力测定和石墨增强环氧树脂中压缩破坏的微力学研究(使用拉曼光谱法)。
机译:银纳米粒子在光学陷阱干细胞上引起的应力的拉曼光谱。
机译:硅单晶低温光学谐振器
机译:使用微拉曼光谱表征GaN-on-sapphire微机电系统(mEms)结构中的应力