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机译:低功耗双模MEMS具有PPB稳定性的谐振器
Stanford Univ Dept Mech Engn Stanford CA 94305 USA;
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Resonators; Resonant frequency; Micromechanical devices; Thermal stability; Temperature measurement; Heating systems; Resonators; timing;
机译:晶体取向依赖性双频传动MEMS谐振器具有温度稳定性和休克鲁棒性
机译:具有低功耗和超紧凑TIA内核的单谐振器双频BEOL嵌入式CMOS-MEMS振荡器
机译:均匀加热的烤箱控制的N ++ [100]长度伸展模式硅谐振器,具有+/- 500 ppb频率误差在工业温度范围内
机译:通过简并的磷掺杂和偏置电流优化,热激励高频硅谐振器的温度稳定性低于100ppb /°C
机译:电容间隙MEMS基于谐振器的低功耗信号处理振荡器。
机译:测量验证的轮廓模式MEMS谐振器和振荡器的温度相关分析设计模型
机译:电热和压电驱动的碳化硅mEms谐振器的温度稳定性