机译:铸造单晶硅:微和纳米机电系统的新替代品?
Aalto Univ Dept Elect & Nanoengn Espoo 02150 Finland;
Oxford Instruments Technol Oy Espoo 02150 Finland;
Cast mono-Si; focused ion beam; MEMS; monolike silicon; NEMS; photovoltaics; quasimono silicon;
机译:冷却速率对晶种生长的单晶硅在[001]和[111]方向上滑动系统活化的影响
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机译:通过低压化学气相沉积的碳化硅薄膜,用于微和纳米机电系统。
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机译:带有铸造内部组件的铜罐。关于替代系统研究(pass)项目的修正案,sKB TR 93-04