A HETERODYNE LASER INTERFEROMETER WITH DIGITAL PHASE CONVERSION

V. I. Teleshevskii; S. G. Grishin

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A HETERODYNE LASER INTERFEROMETER WITH DIGITAL PHASE CONVERSION

机译：具有数字相位转换功能的外差激光干涉仪

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The structure and metrological properties have been determined for processing with digital logic applicable to a wide range of heterodyne laser interference systems employing digital phase monitoring in the submicrometer and nanometer resolving power ranges.

机译：已经确定了结构和计量特性，以便通过数字逻辑进行处理，该逻辑适用于广泛的外差激光干涉系统，这些系统采用亚微米和纳米分辨力范围内的数字相位监控。

著录项

来源
《Measurement techniques》 |2006年第6期|p.545-551|共7页
作者
V. I. Teleshevskii; S. G. Grishin;
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作者单位

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类计量学;
关键词
heterodyne interferometry; laser measurement system; digital phase detector;

机译：外差干涉法;激光测量系统;数字相位检测器;

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