测量精度达2.6°的光外差干涉仪用动态相位计

摘要

结合用于磨床加工的光外差表面粗糙度在线干涉测量仪，文中介绍了高精度动态相位计的设计与实现。依据相位测量和整数周期计数相结合的原理，不仅提高了测量精度，而且将测量范围得以扩大；利用锁相环频率跟踪的特点，实现动态测量。在工作中心频率为２ＭＨｚ应用场合下，该相位计的测量精度达２．６°（相当于３．２ｎｍ），允许测量中最大多普勒频移±２０ｋＨｚ（对应高度的变化率±８．７５×１０＾－３／ｍｓ），完全满足磨床加