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机译:[FeTaN / TaN] _5多层膜的微观结构研究
Shenyang National Laboratory for Materials Science, Institute of Metal Research, Chinese Academy oj Sciences, 72 Wenhua Road, Shenyang 110016, China;
microstructure; thin films; magnetic materials; transmission electron microscopy (TEM); sputtering;
机译:Cu / TaN / SiO2 / Si多层结构中通过离子化金属等离子体溅射和化学气相沉积制备的铜膜的比较研究
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机译:(胎儿/棕褐色)_N软多层写头杆件
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