机译:TaN和TaN-Ta-TaN薄膜作为CeFe_4Sb_(12)方钴矿中扩散阻挡层的研究
Univ Montpellier CNRS Inst Charles Gerhardt Montpellier ENSCM 34095 F-34095 Montpellier France;
Ctr Suisse Electron & Microtech CH-2002 Neuchatel Switzerland;
机译:原子层沉积的超薄TaN和Ta1-xAlxNy薄膜用于铜扩散阻挡层的原位匝道退火X射线衍射研究
机译:TaN扩散阻挡层对Cu-Gate ZnO:N薄膜晶体管的影响
机译:通过等离子增强原子层沉积在Si和TaN / Si上作为扩散阻挡层制备Ru薄膜层
机译:溅射Mo / TaN和Mo-Ta薄膜作为铜金属化扩散阻挡层的研究
机译:用于铜金属化的钨基扩散阻挡薄膜的化学气相沉积。
机译:锡薄膜的等离子体增强的原子层沉积作为CIGS太阳能电池的有效SE扩散屏障
机译:一种定量薄溶剂化聚合物膜中分子扩散的方法:本地展开核致核薄膜膜的案例研究