Führender asiatischer Display-Hersteller erwirbt Anlage zur Abscheidung von OLED-Barriereschichten

摘要

Aixtron se, ein führender Hersteller von Depositions-anlagen für die Halbleiterindustrie, hat die erste Opta-cap™-200 Verkapselungsanlage an einen großen asiatischen Display-Hersteller verkauft. Die einzigartige F&E-Anlage, die Substratgrößen von 200 mm x 200 mm verarbeitet, wurde im dritten Quartal 2015 bestellt und wird im ersten Quartal 2016 ausgeliefert. Die innovative Optacap™ plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) ermöglicht die Abscheidung höchst flexibler und effektiver Barriereschichten für die Dünnfilmverkapselung von OLED-Dis-plays, OLED-Beleuchtung, organischer Photovoltaik und flexiblen elektronischen Bauteilen.