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机译:绝缘体上硅微加工制造的紧凑型斜梳两轴微镜扫描仪
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Department of Nanomechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan;
Institute of Fluid Science, Tohoku University, Sendai 980-8577, Japan;
机译:两轴微加工钢扫描仪的设计与制造
机译:具有自对准倾斜固定梳子的两轴静电万向节镜扫描仪
机译:一种无万向节的两轴静电扫描仪,带有倾斜的固定垂直梳子,并通过微装配工艺串联弹簧
机译:通过自对准微组件制造的带有倾斜的固定垂直梳齿的静电两轴万向平衡镜扫描仪
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:飞秒激光制造并远程调谐的整体式万向节微镜
机译:双轴微机械钢扫描仪的设计与制作
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。