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机译:干法和湿法蚀刻相结合制造硅纳米孔阵列
Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
机译:三步湿法刻蚀倒金字塔硅纳米孔阵列的制备
机译:通过RIE干蚀刻和KOH湿蚀刻技术结合沿<1120>方向制造GaN基条纹结构,以恢复干蚀刻损伤
机译:热压印技术在干法和湿法刻蚀光波导中制备硅母盘
机译:三步湿法刻蚀硅纳米孔阵列的制备
机译:干湿GaN蚀刻优化形成高纵横比纳米线
机译:低成本多步化学刻蚀法在薄硅膜中制备固态纳米孔
机译:通过氯化铯自组装和干法蚀刻制造具有高纵横比的硅纳米尖端阵列