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机译:使用原子层沉积的Al2O3 / HfO2 / Al2O3夹层电介质的金属-绝缘体-金属电容器用于无线通信
Fudan Univ, Sch Microelect, State Key Lab ASIC & Syst, Shanghai 200433, Peoples R China;
Hebei Univ, Coll Elect & Informat Engn, Baoding City 071002, Peoples R China;
Natl Univ Singapore, Dept Elect & Comp Engn, Singapore 119260, Singapore;
REACTION-MECHANISM; HFO2 DIELECTRICS; FILMS; OXIDE;
机译:绝缘体上超薄硅衬底上的三明治结构Al2O3 / HfO2 / Al2O3栅极介电膜的特性
机译:射频层应用中具有原子层沉积的HfO2电介质的金属-绝缘体-金属电容器的电特性
机译:具有原子层沉积HfO2电介质的金属-绝缘体-金属电容器的电气特性,用于射频集成电路
机译:用于高级MIS电容器的超薄HfO2 / Al2O3 / HfO2三层栅极电介质的电气特性
机译:用于高k电介质和存储器应用的原子层沉积Al2O3和TiO2
机译:微波退火介电增强沉积原子层的Al2O3 / ZrO2 / Al2O3 MIM电容器
机译:HFO2-AL2O3层压电介质优化高k / Inalas MOS电容器物理和泄漏电流特性研究