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机译:通过超过1亿次测量的大型SEM计量评估图案变异性和缺陷性
ASML, San Jose, California, United States;
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ASML, San Jose, California, United States;
ASML, San Jose, California, United States;
IMEC, Leuven, Belgium;
stochastics; local CD uniformity; fat tail; patterning defects; e-beam; patterning fidelity; holistic lithography;
机译:SEM-AFM微电子学尺寸计量的线性标准,范围为0.01-100μm
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