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机译:使用隔离硅片的蟹形电容式麦克风的设计,建模和制造
Babol Noshirvani University of Technology, Department of Electrical and Computer Engineering, Babol, Iran;
Babol Noshirvani University of Technology, Department of Electrical and Computer Engineering, Babol, Iran;
lnstitute of Microelectronics and Microsystems, CNR, Bologna, Italy;
lnstitute of Microelectronics and Microsystems, CNR, Bologna, Italy;
University of Guilan, Department of Mechanical Engineering, Rasht, Iran;
microelectromechanical systems capacitive microphone; silicon-on-isolator wafer; crab-shape perforated diaphragm; spring constant; analytical modeling;
机译:使用穿孔铝膜片的新型MEMS电容式麦克风的设计和制造
机译:使用缝隙振膜的新型单芯片MEMS电容式麦克风的设计与制造
机译:使用SOI晶片的Z型臂支撑硅振膜的超小型MEMS麦克风的设计与制造
机译:具有薄的起始晶片的硅基MEMS电容式麦克风结构的制造
机译:MEMS双背板电容式麦克风的设计,制造和表征。
机译:带有弹簧支撑膜片的MEMS双背板电容麦克风的设计与建模用于移动设备应用
机译:利用晶圆转移和微电镀技术设计和制作电容式麦克风
机译:采用sUmmiT V制造工艺开发mEms双背板电容式麦克风的兼容膜。