机译:温度对SU-8光刻胶材料力学性能的影响
Department of Mechanical Engineering State University of New York at Binghamton">(1);
Department of Mechanical Engineering State University of New York at Binghamton">(1);
SU-8; Elastic constants; Visco-elasticity; Thermo-mechanical effects; Dynamic mechanical analysis (DMA);
机译:温度对SU-8光刻胶材料力学性能的影响
机译:SU-8光刻胶机械性能的纳米压痕测试
机译:试样尺寸和温度对SU-8光刻胶膜粘弹性拉伸性能的影响
机译:辐射和低温温度对微系统中使用的材料机电性能的影响
机译:SU-8和碳纳米管的机械性能增强了SU-8从室温到高温的强度。
机译:使用SU-8光刻胶结构和细胞色素C薄膜传感材料作为测微辐射热计
机译:使用sU-8光刻胶结构和用于微测辐射热计的细胞色素C薄膜传感材料