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机译:CMOS平台上用于表面声波谐振器的铝掺杂氧化锌薄膜的增强压电性能
Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, International Islamic University, Malaysia, Kuala Lumpur, Malaysia;
XLIM UMR 2752, University of Limoges/CNRS, 123, Avenue Albert THOMAS, 87060 Limoges Cedex, France;
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Department of Electrical and Computer Engineering, Kulliyyah of Engineering, International Islamic University, Malaysia, Kuala Lumpur, Malaysia;
机译:用于双电极CMOS MEMS表面声波(SAW)谐振器的压电薄膜
机译:用于表面声波谐振器的LiNbO_3薄膜的结构,电学和压电性能
机译:基于声表面波在多晶AlN薄膜上生长的掺Ga氧化锌薄膜的湿度传感特性
机译:用于GHz CMOS MEMS表面声波谐振器的氧化锌和铝掺杂ZnO的比较分析
机译:用于覆膜薄膜太阳能电池的铝掺杂氧化锌(AZO)透明电极的高级表面纹理的开发和表征。
机译:用于表面声波的金属掺杂氧化锌薄膜的物理性质
机译:通过准分子激光退火增强室温沉积铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的电学和光学性能
机译:微波声学器件射频溅射氧化锌薄膜的性能。