トンネルアクチュエータによる超高速・超精密位置決め装置

摘要

人類の歴史が始まってからさまざまrnな道具や機械を作って有効に使うことrnで文明は発達し続けてきた．rnその中でもいかに楽にモノを動かせrnるかが．われわれ人間の最大のぜいたrnくの始まりである．1765年ジエーrnムズ・ワットが蒸気機関を発明するこrnとで産業革命が始まった．