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机译:RF螺线管磁控溅射同时外延生长锐钛矿和金红石薄膜
Department of Environmental Technology & Urban Planning, Nagoya Institute of Technology, Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya 466-8555, Japan;
Al. crystal structure; A3. RF helicon magnetron sputtering; Bl. titanium dioxide; B2. optical functional materials;
机译:射频磁控溅射多晶和外延锐钛矿和金红石型TiO_2薄膜的光学性质
机译:射频磁控溅射法制备多晶锐钛矿和金红石型TiO_2薄膜及其表征
机译:工艺参数对低温反应磁控溅射沉积纯相锐钛矿和金红石型TiO_2薄膜生长的影响
机译:通过RF磁控溅射在室温下生长的TiO_2薄膜的锐钛矿,金红石和无定形阶段的光学性质
机译:利用射频磁控溅射外延钛酸钡薄膜制造光电子器件的研究。
机译:SC0.09Al0.91N和SC0.18A10.82N的外延生长通过磁控溅射对表面声波应用的磁控溅射薄膜
机译:反应磁控溅射控制锐钛矿和金红石型TiO 2 sub>薄膜的形成