机译:高功率微波等离子体化学气相沉积法生长同质外延金刚石
Osaka Univ, Grad Sch Engn, Dept Elect Engn, Suita, Osaka 5650871, Japan;
characterization; growth rate; chemical vapor deposition processes; homoepitaxial growth; diamond; semiconducting materials; SILICON EPITAXIAL-GROWTH; MISORIENTATION ANGLES; THIN-FILMS; CVD; QUALITY; HYDROGEN; SURFACE; MORPHOLOGY; RADICALS; KINETICS;
机译:高功率微波等离子体化学气相沉积法制备高质量掺硼同质外延金刚石
机译:(001)表面的邻角对高功率微波等离子体化学气相沉积法生长的高质量同质外延金刚石膜硼掺杂特性的影响
机译:等离子增强化学气相沉积法制备同质外延金刚石(111)薄膜的各向异性横向生长
机译:重新检查通过热丝和微波等离子体化学气相沉积法生长的金刚石薄膜的拉曼线形
机译:多晶和同质外延金刚石膜的热等离子体化学气相沉积(CVD)。
机译:金刚石生长速率对热长丝化学气相沉积过程中甲烷浓度的不寻常依赖性
机译:热丝化学气相沉积对同质金刚石生长的氮和偏压效应
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积