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机译:气相动力学在大气压等离子体增强硅膜的化学气相沉积
Department of Precision Engineering Graduate School of Engineering Osaka University 2-1 Yamada-oka Suita Osaka 565-0871 Japan;
Department of Precision Engineering Graduate School of Engineering Osaka University 2-1 Yamada-oka Suita Osaka 565-0871 Japan Research Center for Ultra-Precision Science and Technology Osaka University 2-1 Yamada-oka Suita Osaka 565-0871 Japan;
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机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:混合动力学蒙特卡罗方法模拟通过等离子体增强化学气相沉积法生长的硅膜
机译:a-SiCN:H薄膜的大气压等离子体化学气相沉积:前驱物对薄膜生长和性能的作用
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机译:等离子体增强化学气相沉积中薄膜硅逐层生长的原因
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