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机译:氮化硅膜和磷扩散在高性能多晶硅中吸收过渡金属
Australian Natl Univ, Res Sch Engn, Coll Engn & Comp Sci, Canberra, ACT 2601, Australia;
Australian Natl Univ, Res Sch Engn, Coll Engn & Comp Sci, Canberra, ACT 2601, Australia;
Australian Natl Univ, Res Sch Engn, Coll Engn & Comp Sci, Canberra, ACT 2601, Australia;
Jinko Solar Co Ltd, Shangrao 334100, Jiangxi, Peoples R China;
Jinko Solar Co Ltd, Shangrao 334100, Jiangxi, Peoples R China;
Australian Natl Univ, Res Sch Engn, Coll Engn & Comp Sci, Canberra, ACT 2601, Australia;
机译:多晶硅太阳能电池加工中磷发射极扩散过程中的过渡金属杂质吸收
机译:低温吸杂与磷扩散吸杂相结合以改进多晶硅
机译:太阳能级多晶硅p型硅晶片中铬过渡金属的磷扩散吸杂设置中的最佳温度
机译:多晶硅硅晶片中磷扩散的金属杂质机制的ICP-MS研究
机译:在Cu / SiLK(TM)金属化方案中,集成非晶钽氮化硅(TaSiN)薄膜作为扩散阻挡层。
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺