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机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
Derbali Lotfi; Ezzaouia Hatem;
机译:短期内通过迭代吸杂工艺并使用多孔硅作为牺牲层来提高晶体硅的性能
机译:多晶硅太阳能电池加工中磷发射极扩散过程中的过渡金属杂质吸收
机译:使用多孔硅层通过磷扩散从晶体硅中吸收杂质
机译:牺牲高温磷扩散吸杂工艺,用于提高多晶硅晶片的寿命
机译:光伏多晶硅中晶界杂质吸收和钝化的层次结构。
机译:将低温吸杂剂与磷扩散吸杂剂结合使用可改善多晶硅
机译:使用多孔硅或多孔二氧化硅的牺牲层较厚的多层板及其制造方法
机译:使用多孔硅或多孔氧化硅的具有厚牺牲层的多层晶片及其制造方法
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