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Model for localized buildup and thinning of metal due to electromigration

机译:电迁移导致金属局部堆积和变薄的模型

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摘要

We present a model to account for the highly localized buildup and thinning of metal that has been observed during electromigration testing. It assumes variations in mobility along the line, rather than complete blockage. Using reasonable estimates for the parameters needed, it is possible to obtain a quantitative fit to previously observed data.
机译:我们提出了一个模型,以解释在电迁移测试过程中观察到的高度局部化的金属堆积和变薄现象。它假定沿线的移动性有所变化,而不是完全阻塞。使用所需参数的合理估计,可以对先前观察到的数据进行定量拟合。

著录项

  • 来源
    《Journal of Applied Physics 》 |2010年第8期| p.084512.1-084512.4| 共4页
  • 作者

    P. A. Flinn; J. C. Doan;

  • 作者单位

    Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA;

    Department of Materials Science and Engineering, Stanford University, Stanford, California 94305, USA;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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