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机译:原子层在纳米机械氮化硅谐振器上沉积二氧化硅膜
School of Applied and Engineering Physics, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA;
rnDepartment of Biomedical Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA;
rnSchool of Applied and Engineering Physics, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA;
机译:通过使用具有沉积的硅层的原子层来改善低温多晶硅薄膜晶体管的长期稳定性
机译:沉积在硅片上的氧化硅/氮化硅双层薄膜的微桥测试
机译:氧自由基通过独立的单层和多层氮化硅和二氧化硅薄膜的传输
机译:大气压下辉光放电沉积的二氧化硅和氮化硅超薄膜的微摩擦学和纳米力学行为
机译:研究4H-碳化硅-碳化硅上低温原子沉积的氧化物及其对碳化硅/二氧化硅界面的影响。
机译:氮化硅薄膜的原子层沉积:近期进展挑战和前景的回顾
机译:等离子体增强原子层沉积氮化硅中氢氟酸膜密度与湿蚀刻速率的关系